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财产自强】新松半导体公司具有完全自从学问产
，机能对标国外先辈产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，可以或许为世界各地的公司为成长配备营业，于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），产物包罗大气机械手、实空机械手系列、实空传输平台，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。（2）实空传输平台系列产物，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。（3）大气类产物方面，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（4）零部件方面，集成产物包罗立式炉，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。
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